一种热解氮化硼用的沉积炉

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620348636.X
申请日
2016-04-25
公开(公告)号
CN205556773U
公开(公告)日
2016-09-07
发明(设计)人
董家海 曹新华 周孟忠
申请人
申请人地址
215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区科创园1号楼305
IPC主分类号
C23C1644
IPC分类号
C23C1634 C01B21064
代理机构
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共 50 条
[1]
一种热解氮化硼沉积炉 [P]. 
张华芹 ;
程佳彪 ;
张冬翔 ;
李广敏 .
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[2]
热解氮化硼气相沉积炉 [P]. 
赵风鸣 .
中国专利 :CN2136445Y ,1993-06-16
[3]
制备热解氮化硼制品用的环空保温气相沉积炉 [P]. 
何军舫 ;
王军勇 .
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[4]
制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法 [P]. 
何军舫 ;
王军勇 .
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[5]
一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟 [P]. 
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王殿春 ;
孙蕾 ;
赵旭荣 ;
吴思华 .
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[6]
一种氮化硼坩埚的气相沉积炉 [P]. 
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王军勇 .
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[7]
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江凤益 .
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[8]
制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉 [P]. 
何军舫 ;
王军勇 .
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[9]
一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚 [P]. 
何军舫 ;
王军勇 .
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[10]
一种热解氮化硼涂层制品用防护工装 [P]. 
刘汝强 ;
王殿春 ;
魏利硕 ;
吴思华 ;
周清波 .
中国专利 :CN218026331U ,2022-12-13