生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520020440.3

申请日：

2015-01-13

公开(公告)号：

CN204509458U

公开(公告)日：

2015-07-29

发明(设计)人：

赵林赵凤鸣

申请人：

申请人地址：

215513 江苏省苏州市常熟经济开发区马桥工业坊22栋

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279

代理人：

蒋常雪

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718753954 IPC(主分类):C23C 16/34 专利号:ZL2015200204403 变更事项:专利权人变更前权利人:常熟东星电子材料有限公司变更后权利人:江苏兆明信息材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:215513 江苏省苏州市常熟经济开发区马桥工业坊22栋变更后权利人:215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济开发区马桥路6号22幢登记生效日:20150710
2015-07-29	授权	授权
2019-03-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 登记生效日:20190304 变更事项:专利权人变更前权利人:安徽明林芬雷新材料有限公司变更后权利人:安徽芯一信息材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:230089 安徽省合肥市高新区柏堰科技园长安路58号合肥约翰芬雷矿山装备有限公司厂房变更后权利人:238000 安徽省合肥市巢湖市中科先进制造创新产业园9号厂房
2018-02-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 登记生效日:20180202 变更事项:专利权人变更前权利人:江苏兆明信息材料有限公司变更后权利人:安徽明林芬雷新材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济开发区马桥路6号22幢变更后权利人:230089 安徽省合肥市高新区柏堰科技园长安路58号合肥约翰芬雷矿山装备有限公司厂房

共 50 条

[1]

生产氮化硼制品的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN205398723U ,2016-07-27

[2]

一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN208071807U ,2018-11-09

[3]

热解氮化硼气相沉积炉 [P].

赵风鸣 .

中国专利 :CN2136445Y ,1993-06-16

[4]

一种氮化硼坩埚的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN214693922U ,2021-11-12

[5]

制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN102796995A ,2012-11-28

[6]

制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 [P].

赵凤鸣 ;

赵林 .

中国专利 :CN102021533A ,2011-04-20

[7]

制备热解氮化硼制品用的环空保温气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202865334U ,2013-04-10

[8]

制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786416U ,2013-03-13

[9]

制备热解氮化硼制品用的有分离式进气口的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786419U ,2013-03-13

[10]

制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786420U ,2013-03-13

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