抛光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810092011.1

申请日：

2008-01-30

公开(公告)号：

CN101254586A

公开(公告)日：

2008-09-03

发明(设计)人：

齐藤贤一郎锅谷治永田公秀户川哲二

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

H01L21304 B24B4904 B24B5312

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

刘佳斐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	授权	授权
2009-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-09-03	公开	公开

共 50 条

[1]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

安田穗积 ;

斋藤康二 ;

福岛诚 .

中国专利 :CN103252714A ,2013-08-21

[2]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

安田穗积 ;

斋藤康二 ;

福岛诚 .

中国专利 :CN106078495A ,2016-11-09

[3]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

安田穗积 ;

斋藤康二 ;

福岛诚 .

中国专利 :CN101422874A ,2009-05-06

[4]

衬底抛光设备 [P].

广川一人 ;

中井俊辅 ;

大田真朗 ;

和田雄高 ;

小林洋一 .

中国专利 :CN1791490B ,2006-06-21

[5]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN104044057A ,2014-09-17

[6]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN102513920A ,2012-06-27

[7]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN101585164A ,2009-11-25

[8]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN100466191C ,2007-10-10

[9]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN105904335A ,2016-08-31

[10]

抛光设备 [P].

锅谷治 ;

户川哲二 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN101934491B ,2011-01-05

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