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一种静电卡盘和半导体加工装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010511722.5
申请日：
2010-10-12
公开(公告)号：
CN102446797A
公开(公告)日：
2012-05-09
发明(设计)人：
孟昭生
蔡翠玲
尤丽丽
陶晟
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
C23C1450
H01L2100
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
常亮;李辰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-05-09 | 公开 | 公开 |
| 2012-06-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271730162 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010105117225 申请日:20101012 |
| 2014-02-19 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101692894302 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010105117225 申请公布日:20120509 |