静电卡盘和半导体设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120356588.X

申请日：

2021-02-09

公开(公告)号：

CN212991070U

公开(公告)日：

2021-04-16

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号院1号楼3层3P01室

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

静电卡盘和半导体设备 [P].

武学伟 .

中国专利 :CN102915943B ,2013-02-06

[2]

静电卡盘以及半导体设备 [P].

史全宇 ;

师帅涛 ;

赵梦欣 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN208422892U ,2019-01-22

[3]

静电卡盘和半导体加工设备 [P].

朱治友 ;

柳朋亮 .

中国专利 :CN110400772B ,2019-11-01

[4]

静电卡盘及采用所述静电卡盘的半导体设备 [P].

钟杜 ;

单静静 ;

豆海清 ;

曾最新 .

中国专利 :CN214099612U ,2021-08-31

[5]

静电卡盘、静电吸附装置及半导体设备 [P].

金屹梵 ;

刘普然 .

中国专利 :CN223321252U ,2025-09-09

[6]

静电卡盘以及半导体设备 [P].

史全宇 ;

师帅涛 ;

赵梦欣 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN107808848B ,2024-10-25

[7]

静电卡盘以及半导体设备 [P].

史全宇 ;

师帅涛 ;

赵梦欣 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN107808848A ,2018-03-16

[8]

温控装置、静电卡盘及半导体设备 [P].

何滨冰 ;

陈彦铨 ;

萧椉文 .

中国专利 :CN223638331U ,2025-12-05

[9]

半导体刻蚀设备中的静电卡盘 [P].

张裕 .

中国专利 :CN221632546U ,2024-08-30

[10]

一种静电卡盘和半导体设备 [P].

吴涛 ;

杨杰 ;

杨思蝶 .

中国专利 :CN118571826B ,2024-10-22

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