静电卡盘及采用所述静电卡盘的半导体设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022301748.9

申请日：

2020-10-15

公开(公告)号：

CN214099612U

公开(公告)日：

2021-08-31

发明(设计)人：

钟杜单静静豆海清曾最新

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;高翠花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	授权	授权

共 50 条

[1]

静电卡盘、静电吸附装置及半导体设备 [P].

金屹梵 ;

刘普然 .

中国专利 :CN223321252U ,2025-09-09

[2]

静电卡盘以及半导体设备 [P].

史全宇 ;

师帅涛 ;

赵梦欣 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN208422892U ,2019-01-22

[3]

静电卡盘和半导体设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212991070U ,2021-04-16

[4]

静电卡盘及半导体处理设备 [P].

王星 ;

王浙辉 ;

周鹏 .

中国专利 :CN216528815U ,2022-05-13

[5]

温控装置、静电卡盘及半导体设备 [P].

何滨冰 ;

陈彦铨 ;

萧椉文 .

中国专利 :CN223638331U ,2025-12-05

[6]

静电卡盘和半导体设备 [P].

武学伟 .

中国专利 :CN102915943B ,2013-02-06

[7]

静电卡盘以及半导体设备 [P].

史全宇 ;

师帅涛 ;

赵梦欣 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN107808848B ,2024-10-25

[8]

静电卡盘以及半导体设备 [P].

史全宇 ;

师帅涛 ;

赵梦欣 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN107808848A ,2018-03-16

[9]

带静电卡盘的半导体设备 [P].

蔡军 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN118231321B ,2024-08-06

[10]

带静电卡盘的半导体设备 [P].

蔡军 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN118231321A ,2024-06-21

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