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静电卡盘以及半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201711223776.X
申请日：
2017-11-28
公开(公告)号：
CN107808848B
公开(公告)日：
2024-10-25
发明(设计)人：
史全宇
师帅涛
赵梦欣
赵晋荣
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
任岩
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-25 | 授权 | 授权 |
| 2025-12-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/687登记生效日:20251212变更事项:专利权人变更前权利人:北京北方华创微电子装备有限公司变更后权利人:北京华丞电子有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号变更后权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号院1号楼4层4S01 |