带有集成静电能量过滤器的带电粒子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110354511.X

申请日：

2011-11-10

公开(公告)号：

CN102468104A

公开(公告)日：

2012-05-23

发明(设计)人：

A.亨斯特拉

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J3705

IPC分类号：

H01J37153 H01J3709

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

周春梅;杨楷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101550741533 IPC(主分类):H01J 37/05 专利申请号:201110354511X 申请日:20111110
2012-05-23	公开	公开
2015-11-18	授权	授权

共 29 条

[1]

具有集成能量过滤器的带电粒子源 [P].

A·亨斯特拉 .

中国专利 :CN101593658A ,2009-12-02

[2]

带电粒子的影像能量过滤器以及使用其的分光计 [P].

迪特马尔·丰内曼 .

中国专利 :CN102549704B ,2012-07-04

[3]

宽视场带电粒子过滤器 [P].

J·莫罗 ;

S·福特 .

美国专利 :CN115335953B ,2025-07-11

[4]

宽视场带电粒子过滤器 [P].

J·莫罗 ;

S·福特 .

中国专利 :CN115335953A ,2022-11-11

[5]

维恩过滤器及带电粒子束成像设备 [P].

赵焱 .

中国专利 :CN119008366B ,2025-10-28

[6]

维恩过滤器和带电粒子束成像设备 [P].

孟庆浪 ;

孙伟强 ;

赵焱 .

中国专利 :CN110660633B ,2020-01-07

[7]

维恩过滤器及带电粒子束成像设备 [P].

赵焱 .

中国专利 :CN119008366A ,2024-11-22

[8]

使用角能量过滤器的角扫描 [P].

卡森·高全·任 ;

威廉·宾茨 .

中国专利 :CN106233418A ,2016-12-14

[9]

静电的过滤器单元和带有静电的过滤器单元的通风装置 [P].

G.黑佩尔勒 ;

G.霍斯特 ;

D.福尔马尔 .

中国专利 :CN110354996A ,2019-10-22

[10]

静电的过滤器单元和带有静电的过滤器单元的通风装置 [P].

H.艾希 ;

G.黑佩尔勒 ;

J.赫布斯特 ;

G.霍斯特 ;

D.福尔马尔 .

中国专利 :CN110354995B ,2019-10-22