共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
具有集成能量过滤器的带电粒子源
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200910145359.7
申请日：
2009-05-26
公开(公告)号：
CN101593658A
公开(公告)日：
2009-12-02
发明(设计)人：
A·亨斯特拉
申请人：
申请人地址：
美国俄勒冈州
IPC主分类号：
H01J3704
IPC分类号：
H01J37147
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
汤春龙;徐予红
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081315842 IPC(主分类):H01J 37/04 专利申请号:2009101453597 申请日:20090526 |
| 2014-05-07 | 授权 | 授权 |
| 2009-12-02 | 公开 | 公开 |