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带电粒子源、带电粒子枪、带电粒子束装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280097390.1
申请日：
2022-07-20
公开(公告)号：
CN119404276A
公开(公告)日：
2025-02-07
发明(设计)人：
城光寺佑树
福田真大
福本政幸
申请人：
株式会社日立高新技术
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01J37/06
IPC分类号：
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
曾贤伟;金成哲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-07 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/06申请日:20220720 |