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带电粒子枪以及带电粒子束系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080099514.0
申请日：
2020-04-23
公开(公告)号：
CN115428114B
公开(公告)日：
2025-07-04
发明(设计)人：
福田真大 糟谷圭吾 荒井纪明
申请人：
株式会社日立高新技术
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3/02
IPC分类号：
H01J1/46
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
范胜杰;曹鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-04 授权 授权
共 50 条
[1]
带电粒子枪以及带电粒子束系统 [P]. 
福田真大 ;
糟谷圭吾 ;
荒井纪明 .
中国专利 :CN115428114A ,2022-12-02
[2]
带电粒子源、带电粒子枪、带电粒子束装置 [P]. 
城光寺佑树 ;
福田真大 ;
福本政幸 .
日本专利 :CN119404276A ,2025-02-07
[3]
带电粒子枪和带电粒子束装置 [P]. 
河野祐二 ;
泽田英敬 ;
池田昭浩 .
日本专利 :CN119890012A ,2025-04-25
[4]
带电粒子束检查系统、带电粒子束检查方法 [P]. 
杜航 ;
横须贺俊之 ;
笹气裕子 ;
渡边康子 ;
木村爱美 .
日本专利 :CN118476004A ,2024-08-09
[5]
带电粒子束系统 [P]. 
W.黄 ;
J.A.诺特 .
中国专利 :CN107275175B ,2017-10-20
[6]
带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P]. 
松井秀树 .
中国专利 :CN111624857A ,2020-09-04
[7]
带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P]. 
野村春之 ;
中山田宪昭 .
中国专利 :CN114787958A ,2022-07-22
[8]
带电粒子束系统 [P]. 
平本和夫 ;
梅泽真澄 ;
藤高伸一郎 ;
白土博树 ;
清水伸一 ;
梅垣菊男 .
中国专利 :CN104548387A ,2015-04-29
[9]
带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P]. 
松井秀树 .
日本专利 :CN111624857B ,2024-04-02
[10]
带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P]. 
中山贵仁 .
中国专利 :CN109698106B ,2019-04-30
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