带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110284278.6

申请日：

2021-03-17

公开(公告)号：

CN113496859B

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

清原正宽上本敦

申请人：

株式会社日立高新技术分析

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

崔成哲;黄纶伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	授权	授权
2025-07-22	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):H01J 37/20变更事项:申请人变更前:日本株式会社日立高新技术科学变更后:株式会社日立高新技术分析变更事项:国家或地区变更前:日本变更后:日本变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京都

共 50 条

[1]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

中国专利 :CN113496859A ,2021-10-12

[2]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

[3]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[4]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[5]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27

[6]

带电粒子束装置 [P].

岩堀敏行 .

中国专利 :CN108666192B ,2018-10-16

[7]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

中国专利 :CN111696842A ,2020-09-22

[8]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN110335800B ,2024-04-16

[9]

带电粒子束装置 [P].

荷田昌克 .

中国专利 :CN108666195B ,2018-10-16

[10]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN112563103A ,2021-03-26

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