带电粒子束装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011014963.9
申请日
2020-09-24
公开(公告)号
CN112563103A
公开(公告)日
2021-03-26
发明(设计)人
村木礼奈 上本敦 麻畑达也
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
H01J3720
IPC分类号
H01J37244 H01J3726
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
黄志坚;崔成哲
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
带电粒子束装置 [P]. 
村木礼奈 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27
[2]
带电粒子束装置 [P]. 
铃木将人 ;
富松聪 ;
佐藤诚 ;
麻畑达也 .
中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15
[3]
带电粒子束装置 [P]. 
铃木将人 ;
富松聪 ;
佐藤诚 ;
麻畑达也 .
日本专利 :CN110335800B ,2024-04-16
[4]
带电粒子束装置 [P]. 
富松聪 ;
佐藤诚 ;
铃木将人 .
中国专利 :CN108335961A ,2018-07-27
[5]
带电粒子束装置 [P]. 
村木礼奈 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
中国专利 :CN112563101A ,2021-03-26
[6]
带电粒子束装置 [P]. 
富松聪 ;
麻畑达也 ;
佐藤诚 ;
铃木将人 .
中国专利 :CN109817502A ,2019-05-28
[7]
带电粒子束装置 [P]. 
村木礼奈 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
日本专利 :CN112563101B ,2025-05-27
[8]
带电粒子束装置 [P]. 
村上雄大 ;
根本佳和 .
日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21
[9]
带电粒子束装置 [P]. 
富松聪 ;
佐藤诚 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31
[10]
带电粒子束装置 [P]. 
村上雄大 ;
根本佳和 .
中国专利 :CN111696842A ,2020-09-22