带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010170496.2

申请日：

2020-03-12

公开(公告)号：

CN111696842A

公开(公告)日：

2020-09-22

发明(设计)人：

村上雄大根本佳和

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3728

IPC分类号：

H01J3722

代理机构：

北京市隆安律师事务所 11323

代理人：

权鲜枝;刘宁军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20200312

共 50 条

[1]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[2]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27

[3]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN112563103A ,2021-03-26

[4]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

日本专利 :CN113496859B ,2025-12-19

[5]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[6]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

[7]

带电粒子束装置 [P].

小松崎谅 ;

千叶宽幸 ;

陈伟健 ;

佐藤博文 .

日本专利 :CN114270182B ,2024-10-18

[8]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN110335800B ,2024-04-16

[9]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

铃木将人 .

中国专利 :CN108335961A ,2018-07-27

[10]

带电粒子束装置 [P].

小松崎谅 ;

千叶宽幸 ;

陈伟健 ;

佐藤博文 .

中国专利 :CN114270182A ,2022-04-01

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