带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810245793.1

申请日：

2018-03-23

公开(公告)号：

CN108666195B

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

荷田昌克

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3720

IPC分类号：

H01J3728 H01J3730

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;黄纶伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	公开	公开
2022-03-29	授权	授权
2020-03-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20180323

共 50 条

[1]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

日本专利 :CN113496859B ,2025-12-19

[2]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

中国专利 :CN113496859A ,2021-10-12

[3]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[4]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[5]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

[6]

带电粒子束装置 [P].

榎本裕久 ;

铃木渡 ;

小柳宗和 ;

羽根田茂 ;

菊池秀树 .

中国专利 :CN110494948A ,2019-11-22

[7]

带电粒子束装置 [P].

千叶宽幸 ;

陈伟健 ;

小松崎谅 ;

佐藤博文 .

中国专利 :CN114341631A ,2022-04-12

[8]

带电粒子束装置 [P].

小松崎谅 ;

千叶宽幸 ;

陈伟健 ;

佐藤博文 .

日本专利 :CN114270182B ,2024-10-18

[9]

带电粒子束装置 [P].

大南祐介 ;

河西晋佐 ;

大泷智久 ;

安岛雅彦 ;

伊东祐博 .

中国专利 :CN104246965B ,2014-12-24

[10]

带电粒子束装置 [P].

大津贺一雄 ;

今井悠太 ;

野间口恒典 .

日本专利 :CN112005333B ,2024-04-19

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