带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880024056.7

申请日：

2018-05-25

公开(公告)号：

CN110494948A

公开(公告)日：

2019-11-22

发明(设计)人：

榎本裕久铃木渡小柳宗和羽根田茂菊池秀树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3720

IPC分类号：

F16F701 F16F1502 F16F1504 H01J3716

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

张敬强;金成哲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20180525
2022-04-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J 37/20 申请公布日:20191122
2019-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

日本专利 :CN113496859B ,2025-12-19

[2]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[3]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[4]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

[5]

带电粒子束装置 [P].

千叶宽幸 ;

陈伟健 ;

小松崎谅 ;

佐藤博文 .

中国专利 :CN114341631A ,2022-04-12

[6]

带电粒子束装置 [P].

小松崎谅 ;

千叶宽幸 ;

陈伟健 ;

佐藤博文 .

日本专利 :CN114270182B ,2024-10-18

[7]

带电粒子束装置 [P].

大南祐介 ;

河西晋佐 ;

大泷智久 ;

安岛雅彦 ;

伊东祐博 .

中国专利 :CN104246965B ,2014-12-24

[8]

带电粒子束装置 [P].

大津贺一雄 ;

今井悠太 ;

野间口恒典 .

日本专利 :CN112005333B ,2024-04-19

[9]

带电粒子束装置 [P].

重藤训志 ;

佐藤贡 ;

饭泉纪子 ;

能田弘行 ;

西村雅子 ;

渡边俊哉 ;

许斐麻美 ;

富田真一 ;

多持隆一郎 .

中国专利 :CN103733298A ,2014-04-16

[10]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27

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