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用于带电粒子工具的带通带电粒子能量过滤检测器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280044103.0
申请日：
2022-10-05
公开(公告)号：
CN117561586B
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
蒋友飞
M·施泰格瓦尔德
申请人：
科磊股份有限公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01J37/244
IPC分类号：
H01J37/28
H01J37/147
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
刘丽楠
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-15 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-13 | 公开 | 公开 |
| 2024-09-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/244申请日:20221005 |