复合带电粒子束检测器、带电粒子束装置以及带电粒子束检测器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480006842.6

申请日：

2014-01-10

公开(公告)号：

CN104956461A

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

野间口恒典扬村寿英

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3728

IPC分类号：

H01J3722 H01J3724 H01J37244

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;曹鑫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631735338 IPC(主分类):H01J 37/28 专利申请号:2014800068426 申请日:20140110
2015-09-30	公开	公开
2016-10-19	授权	授权

共 50 条

[1]

带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置 [P].

阿部智彦 ;

小岛真一 .

中国专利 :CN107017142A ,2017-08-04

[2]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

中山贵仁 .

中国专利 :CN109698106B ,2019-04-30

[3]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

和气清二 .

中国专利 :CN108305825B ,2018-07-20

[4]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

中国专利 :CN111624857A ,2020-09-04

[5]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

野村春之 ;

中山田宪昭 .

中国专利 :CN114787958A ,2022-07-22

[6]

带电粒子束装置及带电粒子束装置的检测器位置调整方法 [P].

今井悠太 ;

笹岛正弘 ;

高鉾良浩 .

中国专利 :CN112106168A ,2020-12-18

[7]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

安田淳平 ;

涌井直人 .

日本专利 :CN115113489B ,2025-04-11

[8]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

日本专利 :CN111624857B ,2024-04-02

[9]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

安井健一 ;

加藤靖雄 .

中国专利 :CN111913362B ,2020-11-10

[10]

带电粒子束装置及带电粒子束装置的检测器位置调整方法 [P].

今井悠太 ;

笹岛正弘 ;

高鉾良浩 .

日本专利 :CN112106168B ,2024-04-16

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