带电粒子束装置及带电粒子束装置的检测器位置调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880093423.9

申请日：

2018-05-22

公开(公告)号：

CN112106168A

公开(公告)日：

2020-12-18

发明(设计)人：

今井悠太笹岛正弘高鉾良浩

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J37153

IPC分类号：

H01J37145 H01J37244

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

金成哲;王莉莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/153 申请日:20180522
2020-12-18	公开	公开

共 50 条

[1]

带电粒子束装置及带电粒子束装置的检测器位置调整方法 [P].

今井悠太 ;

笹岛正弘 ;

高鉾良浩 .

日本专利 :CN112106168B ,2024-04-16

[2]

带电粒子束装置 [P].

神宫孝广 .

中国专利 :CN108292579A ,2018-07-17

[3]

带电粒子束装置以及带电粒子束装置的调整方法 [P].

尾方智彦 ;

长谷川正树 ;

村越久弥 ;

小贯胜则 ;

兼冈则幸 .

中国专利 :CN108604522B ,2018-09-28

[4]

带电粒子束装置、带电粒子束装置的控制方法 [P].

青木贤治 ;

斋藤勉 ;

细谷幸太郎 ;

中村光宏 ;

重藤训志 .

中国专利 :CN105593966A ,2016-05-18

[5]

带电粒子束装置 [P].

城光寺佑树 ;

福田真大 .

日本专利 :CN120513502A ,2025-08-19

[6]

复合带电粒子束检测器、带电粒子束装置以及带电粒子束检测器 [P].

野间口恒典 ;

扬村寿英 .

中国专利 :CN104956461A ,2015-09-30

[7]

带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法 [P].

小林宽司 ;

唐镰章 ;

佐藤典夫 .

中国专利 :CN107615441B ,2018-01-19

[8]

带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法 [P].

重藤训志 ;

佐藤贡 ;

斋藤勉 ;

细谷幸太郎 ;

高鉾良浩 ;

安藤彻 .

中国专利 :CN105359250B ,2016-02-24

[9]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[10]

带电粒子束装置 [P].

大南祐介 ;

河西晋佐 ;

大泷智久 ;

安岛雅彦 ;

伊东祐博 .

中国专利 :CN104246965B ,2014-12-24

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