带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580084928.5

申请日：

2015-12-22

公开(公告)号：

CN108292579A

公开(公告)日：

2018-07-17

发明(设计)人：

神宫孝广

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

H01J3728

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;曹鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	授权	授权
2018-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20151222
2018-07-17	公开	公开

共 50 条

[1]

带电粒子束装置以及带电粒子束装置的调整方法 [P].

尾方智彦 ;

长谷川正树 ;

村越久弥 ;

小贯胜则 ;

兼冈则幸 .

中国专利 :CN108604522B ,2018-09-28

[2]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[3]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27

[4]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN110335800B ,2024-04-16

[5]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

铃木将人 .

中国专利 :CN108335961A ,2018-07-27

[6]

带电粒子束装置 [P].

野间口恒典 ;

本村俊一 ;

西中健一 ;

扬村寿英 .

中国专利 :CN110709960B ,2020-01-17

[7]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN112563103A ,2021-03-26

[8]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN112563101A ,2021-03-26

[9]

带电粒子束装置 [P].

池田悠太 ;

松崎美月 ;

山崎悠司 ;

山田翔太 ;

大山悦辉 .

日本专利 :CN120453144A ,2025-08-08

[10]

带电粒子束装置 [P].

小辻秀幸 ;

横须贺俊之 ;

川野源 .

日本专利 :CN117501401A ,2024-02-02

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