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带电粒子束装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202180099544.6
申请日：
2021-07-01
公开(公告)号：
CN117501401A
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
小辻秀幸
横须贺俊之
川野源
申请人：
株式会社日立高新技术
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J37/20
IPC分类号：
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
许静;范胜杰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/20申请日:20210701 |