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带电粒子束装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380088688.0
申请日：
2023-01-06
公开(公告)号：
CN120418921A
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
岩堀敏行
申请人：
株式会社日立高新技术
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01J37/20
IPC分类号：
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
金成哲;王莉莉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-19 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/20申请日:20230106
2025-08-01 公开 公开
共 50 条
[1]
带电粒子束装置 [P]. 
小辻秀幸 ;
横须贺俊之 ;
川野源 .
日本专利 :CN117501401A ,2024-02-02
[2]
带电粒子束装置 [P]. 
铃木将人 ;
富松聪 ;
佐藤诚 ;
麻畑达也 .
中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15
[3]
带电粒子束装置 [P]. 
村木礼奈 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27
[4]
带电粒子束装置 [P]. 
铃木将人 ;
富松聪 ;
佐藤诚 ;
麻畑达也 .
日本专利 :CN110335800B ,2024-04-16
[5]
带电粒子束装置 [P]. 
富松聪 ;
佐藤诚 ;
铃木将人 .
中国专利 :CN108335961A ,2018-07-27
[6]
带电粒子束装置 [P]. 
野间口恒典 ;
本村俊一 ;
西中健一 ;
扬村寿英 .
中国专利 :CN110709960B ,2020-01-17
[7]
带电粒子束装置 [P]. 
海老塚泰 ;
菅野诚一郎 ;
西原诚 ;
藤田真志 .
中国专利 :CN104094376B ,2014-10-08
[8]
带电粒子束装置 [P]. 
村木礼奈 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
中国专利 :CN112563103A ,2021-03-26
[9]
带电粒子束装置 [P]. 
村木礼奈 ;
上本敦 ;
麻畑达也 .
中国专利 :CN112563101A ,2021-03-26
[10]
带电粒子束装置 [P]. 
池田悠太 ;
松崎美月 ;
山崎悠司 ;
山田翔太 ;
大山悦辉 .
日本专利 :CN120453144A ,2025-08-08
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