带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780091345.4

申请日：

2017-06-02

公开(公告)号：

CN110709960B

公开(公告)日：

2020-01-17

发明(设计)人：

野间口恒典本村俊一西中健一扬村寿英

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

H01J3709

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

张敬强;金成哲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-10	授权	授权
2020-01-17	公开	公开
2020-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20170602

共 50 条

[1]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[2]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

[3]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN112563103B ,2025-05-27

[4]

带电粒子束装置 [P].

奥村大河 ;

大岛卓 ;

大南佑介 ;

庄子美南 ;

久田明子 ;

米山明男 .

中国专利 :CN107004555B ,2017-08-01

[5]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

日本专利 :CN110335800B ,2024-04-16

[6]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

铃木将人 .

中国专利 :CN108335961A ,2018-07-27

[7]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN112563103A ,2021-03-26

[8]

带电粒子束装置 [P].

村木礼奈 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN112563101A ,2021-03-26

[9]

带电粒子束装置 [P].

池田悠太 ;

松崎美月 ;

山崎悠司 ;

山田翔太 ;

大山悦辉 .

日本专利 :CN120453144A ,2025-08-08

[10]

带电粒子束装置 [P].

小辻秀幸 ;

横须贺俊之 ;

川野源 .

日本专利 :CN117501401A ,2024-02-02

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