带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480033874.5

申请日：

2014-04-04

公开(公告)号：

CN105359250B

公开(公告)日：

2016-02-24

发明(设计)人：

重藤训志佐藤贡斋藤勉细谷幸太郎高鉾良浩安藤彻

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3728

IPC分类号：

H01J3709 H01J3720

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;文志

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101651550894 IPC(主分类):H01J 37/28 专利申请号:2014800338745 申请日:20140404
2016-02-24	公开	公开
2016-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

带电粒子束装置以及带电粒子束装置的调整方法 [P].

尾方智彦 ;

长谷川正树 ;

村越久弥 ;

小贯胜则 ;

兼冈则幸 .

中国专利 :CN108604522B ,2018-09-28

[2]

带电粒子束装置的焦点调整方法和带电粒子束装置 [P].

冢本一德 ;

千叶悠希 .

中国专利 :CN112309809A ,2021-02-02

[3]

带电粒子束装置、带电粒子束装置的控制方法 [P].

青木贤治 ;

斋藤勉 ;

细谷幸太郎 ;

中村光宏 ;

重藤训志 .

中国专利 :CN105593966A ,2016-05-18

[4]

操作带电粒子束装置的方法和带电粒子束装置 [P].

S·巴尔迪 ;

P·阿达麦茨 .

德国专利 :CN119864267A ,2025-04-22

[5]

带电粒子束装置和操作带电粒子束装置的方法 [P].

B·J·库克 .

中国专利 :CN114586128A ,2022-06-03

[6]

带电粒子束装置和操作带电粒子束装置的方法 [P].

B·J·库克 .

德国专利 :CN114586128B ,2024-12-20

[7]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

日本专利 :CN113496859B ,2025-12-19

[8]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[9]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[10]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

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