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带电粒子束装置的焦点调整方法和带电粒子束装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010709688.6
申请日：
2020-07-22
公开(公告)号：
CN112309809A
公开(公告)日：
2021-02-02
发明(设计)人：
冢本一德
千叶悠希
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3721
IPC分类号：
H01J3726
代理机构：
北京市隆安律师事务所 11323
代理人：
徐谦;刘宁军
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/21 申请日:20200722 |
| 2021-02-02 | 公开 | 公开 |