带电粒子束装置、带电粒子束装置的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480053931.6

申请日：

2014-10-07

公开(公告)号：

CN105593966A

公开(公告)日：

2016-05-18

发明(设计)人：

青木贤治斋藤勉细谷幸太郎中村光宏重藤训志

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3728

IPC分类号：

H01J37244

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;文志

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	公开	公开
2017-05-24	授权	授权
2016-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101664906754 IPC(主分类):H01J 37/28 专利申请号:2014800539316 申请日:20141007
2022-09-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20141007 授权公告日:20170524 终止日期:20211007

共 50 条

[1]

带电粒子束装置 [P].

山本琢磨 .

中国专利 :CN111933505A ,2020-11-13

[2]

带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法 [P].

小林宽司 ;

唐镰章 ;

佐藤典夫 .

中国专利 :CN107615441B ,2018-01-19

[3]

带电粒子束装置 [P].

大南祐介 ;

河西晋佐 ;

大泷智久 ;

安岛雅彦 ;

伊东祐博 .

中国专利 :CN104246965B ,2014-12-24

[4]

带电粒子束装置 [P].

奥村大河 ;

大岛卓 ;

大南佑介 ;

庄子美南 ;

久田明子 ;

米山明男 .

中国专利 :CN107004555B ,2017-08-01

[5]

带电粒子束装置 [P].

野间口恒典 ;

本村俊一 ;

西中健一 ;

扬村寿英 .

中国专利 :CN110709960B ,2020-01-17

[6]

带电粒子束装置 [P].

海老塚泰 ;

菅野诚一郎 ;

西原诚 ;

藤田真志 .

中国专利 :CN104094376B ,2014-10-08

[7]

带电粒子束装置 [P].

佐藤龙树 ;

扬村寿英 ;

野间口恒典 .

中国专利 :CN110383414A ,2019-10-25

[8]

带电粒子束装置 [P].

岩堀敏行 .

日本专利 :CN120418921A ,2025-08-01

[9]

带电粒子束装置 [P].

神波弘树 ;

板桥洋宪 ;

藤村一郎 .

中国专利 :CN111492457A ,2020-08-04

[10]

操作带电粒子束装置的方法和带电粒子束装置 [P].

S·巴尔迪 ;

P·阿达麦茨 .

德国专利 :CN119864267A ,2025-04-22

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