带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580080270.0

申请日：

2015-06-11

公开(公告)号：

CN107615441B

公开(公告)日：

2018-01-19

发明(设计)人：

小林宽司唐镰章佐藤典夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3722

IPC分类号：

H01J3720 H01J3724

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;王立杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	授权	授权
2018-01-19	公开	公开
2018-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/22 申请日:20150611

共 50 条

[1]

带电粒子束装置、带电粒子束装置的控制方法 [P].

青木贤治 ;

斋藤勉 ;

细谷幸太郎 ;

中村光宏 ;

重藤训志 .

中国专利 :CN105593966A ,2016-05-18

[2]

带电粒子束装置 [P].

大南祐介 ;

河西晋佐 ;

大泷智久 ;

安岛雅彦 ;

伊东祐博 .

中国专利 :CN104246965B ,2014-12-24

[3]

带电粒子束装置 [P].

佐藤龙树 ;

扬村寿英 ;

野间口恒典 .

中国专利 :CN110383414A ,2019-10-25

[4]

带电粒子束装置 [P].

山本琢磨 .

中国专利 :CN111933505A ,2020-11-13

[5]

带电粒子束装置 [P].

神波弘树 ;

板桥洋宪 ;

藤村一郎 .

中国专利 :CN111492457A ,2020-08-04

[6]

操作带电粒子束装置的方法和带电粒子束装置 [P].

S·巴尔迪 ;

P·阿达麦茨 .

德国专利 :CN119864267A ,2025-04-22

[7]

带电粒子束装置 [P].

片根纯一 ;

伊东佑博 .

中国专利 :CN102308357B ,2012-01-04

[8]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

日本专利 :CN113496859B ,2025-12-19

[9]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[10]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

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