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用于带电粒子工具的带通带电粒子能量过滤检测器
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202280044103.0
申请日
:
2022-10-05
公开(公告)号
:
CN117561586B
公开(公告)日
:
2024-11-15
发明(设计)人
:
蒋友飞
M·施泰格瓦尔德
申请人
:
科磊股份有限公司
申请人地址
:
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
:
H01J37/244
IPC分类号
:
H01J37/28
H01J37/147
代理机构
:
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人
:
刘丽楠
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-11-15
授权
授权
2024-02-13
公开
公开
2024-09-24
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/244申请日:20221005
共 50 条
[21]
带电粒子加压器
[P].
唐亚军
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
唐亚军
唐亚军
唐亚军
.
中国专利
:CN112164484B
,2024-08-30
[22]
带电粒子装置
[P].
任岩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
任岩
;
A·V·G·曼格努斯
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·V·G·曼格努斯
;
M·斯科特兹
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·斯科特兹
;
E·P·斯马克曼
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
E·P·斯马克曼
.
:CN118402033A
,2024-07-26
[23]
具有集成能量过滤器的带电粒子源
[P].
A·亨斯特拉
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
A·亨斯特拉
.
中国专利
:CN101593658A
,2009-12-02
[24]
带电粒子加压器
[P].
唐亚军
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
唐亚军
.
中国专利
:CN212934175U
,2021-04-09
[25]
带电粒子能量分析器
[P].
卡沙伊·沙德曼
论文数:
0
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0
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0
卡沙伊·沙德曼
;
罗伯特·海恩斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
罗伯特·海恩斯
;
伽柏·D·托特
论文数:
0
引用数:
0
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0
伽柏·D·托特
;
克里斯多佛·西尔斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
克里斯多佛·西尔斯
;
迈赫兰·纳塞尔古德西
论文数:
0
引用数:
0
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0
迈赫兰·纳塞尔古德西
.
中国专利
:CN102484027A
,2012-05-30
[26]
带电粒子装置
[P].
V·S·凯珀
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
V·S·凯珀
;
M·斯科特兹
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·斯科特兹
.
:CN119487604A
,2025-02-18
[27]
带电粒子阱
[P].
马切伊·马利诺夫斯基
论文数:
0
引用数:
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0
机构:
牛津离子有限公司
牛津离子有限公司
马切伊·马利诺夫斯基
;
大卫·阿尔科克
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
牛津离子有限公司
牛津离子有限公司
大卫·阿尔科克
;
托马斯·哈蒂
论文数:
0
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0
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0
机构:
牛津离子有限公司
牛津离子有限公司
托马斯·哈蒂
;
克里斯·巴兰斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
牛津离子有限公司
牛津离子有限公司
克里斯·巴兰斯
.
英国专利
:CN119856186A
,2025-04-18
[28]
带电粒子操作
[P].
弗雷德里克·约翰·柯雷尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
弗雷德里克·约翰·柯雷尔
.
中国专利
:CN1695218A
,2005-11-09
[29]
带电粒子加速器及带电粒子的加速方法
[P].
古久保雄二
论文数:
0
引用数:
0
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古久保雄二
;
上野雅敏
论文数:
0
引用数:
0
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上野雅敏
;
向真澄
论文数:
0
引用数:
0
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0
向真澄
;
松永雅彦
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
松永雅彦
.
中国专利
:CN103026803A
,2013-04-03
[30]
带电粒子加压器
[P].
唐亚军
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
唐亚军
.
中国专利
:CN112164484A
,2021-01-01
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