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用于带电粒子工具的带通带电粒子能量过滤检测器
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202280044103.0
申请日
:
2022-10-05
公开(公告)号
:
CN117561586B
公开(公告)日
:
2024-11-15
发明(设计)人
:
蒋友飞
M·施泰格瓦尔德
申请人
:
科磊股份有限公司
申请人地址
:
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
:
H01J37/244
IPC分类号
:
H01J37/28
H01J37/147
代理机构
:
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人
:
刘丽楠
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-11-15
授权
授权
2024-02-13
公开
公开
2024-09-24
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/244申请日:20221005
共 50 条
[11]
带电粒子的多单元检测器
[P].
汪苏
论文数:
0
引用数:
0
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0
汪苏
;
王勇新
论文数:
0
引用数:
0
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0
王勇新
;
陈仲玮
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0
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0
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0
陈仲玮
;
胡学让
论文数:
0
引用数:
0
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0
胡学让
.
中国专利
:CN111164728A
,2020-05-15
[12]
制造带电粒子检测器的方法
[P].
B·J·詹森
论文数:
0
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0
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0
机构:
FEI公司
FEI公司
B·J·詹森
;
P·多纳
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
FEI公司
FEI公司
P·多纳
.
美国专利
:CN112242284B
,2025-12-12
[13]
检测带电粒子的检测装置、检测带电粒子的方法以及质谱仪
[P].
A·马卡洛夫
论文数:
0
引用数:
0
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0
A·马卡洛夫
;
A·詹纳考普洛斯
论文数:
0
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0
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0
A·詹纳考普洛斯
.
中国专利
:CN102668017B
,2012-09-12
[14]
检测带电粒子的检测装置、检测带电粒子的方法以及质谱仪
[P].
A·马卡洛夫
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0
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0
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0
A·马卡洛夫
;
A·詹纳考普洛斯
论文数:
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0
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0
A·詹纳考普洛斯
.
中国专利
:CN102782800B
,2012-11-14
[15]
MCP总成及带电粒子检测器
[P].
林雅宏
论文数:
0
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0
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0
林雅宏
.
中国专利
:CN112313773A
,2021-02-02
[16]
MCP总成及带电粒子检测器
[P].
林雅宏
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0
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0
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0
林雅宏
.
中国专利
:CN112313772A
,2021-02-02
[17]
具有增益元件的带电粒子检测器
[P].
王勇新
论文数:
0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
王勇新
;
赖瑞霖
论文数:
0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
赖瑞霖
.
:CN113490993B
,2024-05-31
[18]
具有增益元件的带电粒子检测器
[P].
王勇新
论文数:
0
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0
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0
王勇新
;
赖瑞霖
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0
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0
赖瑞霖
.
中国专利
:CN113490993A
,2021-10-08
[19]
带电粒子能量滤波器
[P].
N.W.帕克
论文数:
0
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0
h-index:
0
N.W.帕克
;
W.休斯
论文数:
0
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0
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0
W.休斯
.
中国专利
:CN103094053A
,2013-05-08
[20]
用于带电粒子检测的耐辐射检测器结构
[P].
J·贝克斯
论文数:
0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
J·贝克斯
;
B·M·沃尔默
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
B·M·沃尔默
;
H·G·H·纽鲍尔
论文数:
0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
H·G·H·纽鲍尔
;
M·奥伯斯特
论文数:
0
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0
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·奥伯斯特
;
H·W·穆克
论文数:
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引用数:
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
H·W·穆克
;
U·尤鲁达格
论文数:
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
U·尤鲁达格
;
T·施魏格尔
论文数:
0
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0
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
T·施魏格尔
.
:CN119156552A
,2024-12-17
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