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带电粒子的多单元检测器
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201880063458.8
申请日
:
2018-09-28
公开(公告)号
:
CN111164728A
公开(公告)日
:
2020-05-15
发明(设计)人
:
汪苏
王勇新
陈仲玮
胡学让
申请人
:
申请人地址
:
荷兰维德霍温
IPC主分类号
:
H01J37244
IPC分类号
:
H01L27146
代理机构
:
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
:
傅远
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-06-09
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20180928
2020-05-15
公开
公开
共 50 条
[1]
带电粒子检测器
[P].
须山本比吕
论文数:
0
引用数:
0
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0
须山本比吕
;
小林浩之
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小林浩之
;
服部真也
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0
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0
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服部真也
.
中国专利
:CN107710380B
,2018-02-16
[2]
带电粒子检测器
[P].
A·V·G·曼格努斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·V·G·曼格努斯
.
:CN117597762A
,2024-02-23
[3]
带电粒子检测器
[P].
A·V·G·曼格努斯
论文数:
0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·V·G·曼格努斯
;
E·斯洛特
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0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
E·斯洛特
.
:CN117597761A
,2024-02-23
[4]
改进的带电粒子检测器
[P].
W.谢尔斯
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0
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0
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0
W.谢尔斯
;
R.斯特雷索
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0
R.斯特雷索
;
K.宏特
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0
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0
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0
K.宏特
.
中国专利
:CN110832615A
,2020-02-21
[5]
带电粒子检测器
[P].
E.克尼德勒
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0
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E.克尼德勒
;
J.H.奥尔洛夫
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0
J.H.奥尔洛夫
.
中国专利
:CN103038856B
,2013-04-10
[6]
具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜
[P].
E·弗兰肯
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0
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机构:
FEI公司
FEI公司
E·弗兰肯
;
T·瓦斯洛特
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机构:
FEI公司
FEI公司
T·瓦斯洛特
;
B·詹森
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机构:
FEI公司
FEI公司
B·詹森
.
美国专利
:CN120809561A
,2025-10-17
[7]
制造带电粒子检测器的方法
[P].
B·J·詹森
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0
B·J·詹森
;
P·多纳
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0
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0
P·多纳
.
中国专利
:CN112242284A
,2021-01-19
[8]
制造带电粒子检测器的方法
[P].
B·J·詹森
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机构:
FEI公司
FEI公司
B·J·詹森
;
P·多纳
论文数:
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机构:
FEI公司
FEI公司
P·多纳
.
美国专利
:CN112242284B
,2025-12-12
[9]
带电粒子检测器组件
[P].
A·V·G·曼格努斯
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·V·G·曼格努斯
.
:CN117642836A
,2024-03-01
[10]
具有增益元件的带电粒子检测器
[P].
王勇新
论文数:
0
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0
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
王勇新
;
赖瑞霖
论文数:
0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
赖瑞霖
.
:CN113490993B
,2024-05-31
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