制造带电粒子检测器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010686356.0

申请日：

2020-07-16

公开(公告)号：

CN112242284B

公开(公告)日：

2025-12-12

发明(设计)人：

B·J·詹森 P·多纳

申请人：

FEI公司

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J37/244

IPC分类号：

H01J37/26

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

周学斌;申屠伟进

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	授权	授权

共 50 条

[1]

制造带电粒子检测器的方法 [P].

B·J·詹森 ;

P·多纳 .

中国专利 :CN112242284A ,2021-01-19

[2]

带电粒子检测器 [P].

须山本比吕 ;

小林浩之 ;

服部真也 .

中国专利 :CN107710380B ,2018-02-16

[3]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 .

:CN117597762A ,2024-02-23

[4]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 ;

E·斯洛特 .

:CN117597761A ,2024-02-23

[5]

改进的带电粒子检测器 [P].

W.谢尔斯 ;

R.斯特雷索 ;

K.宏特 .

中国专利 :CN110832615A ,2020-02-21

[6]

带电粒子检测器 [P].

E.克尼德勒 ;

J.H.奥尔洛夫 .

中国专利 :CN103038856B ,2013-04-10

[7]

具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜 [P].

E·弗兰肯 ;

T·瓦斯洛特 ;

B·詹森 .

美国专利 :CN120809561A ,2025-10-17

[8]

带电粒子的多单元检测器 [P].

汪苏 ;

王勇新 ;

陈仲玮 ;

胡学让 .

中国专利 :CN111164728A ,2020-05-15

[9]

带电粒子检测器组件 [P].

A·V·G·曼格努斯 .

:CN117642836A ,2024-03-01

[10]

用于带电粒子检测的耐辐射检测器结构 [P].

J·贝克斯 ;

B·M·沃尔默 ;

H·G·H·纽鲍尔 ;

M·奥伯斯特 ;

H·W·穆克 ;

U·尤鲁达格 ;

T·施魏格尔 .

:CN119156552A ,2024-12-17

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