具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510430899.9

申请日：

2025-04-08

公开(公告)号：

CN120809561A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

E·弗兰肯 T·瓦斯洛特 B·詹森

申请人：

FEI公司

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J37/26

IPC分类号：

H01J37/28 H01J37/244 H01J37/22 G01N23/04 G01N23/20 G01N23/20008 G01N23/20025 G01N23/2202 G01N23/2204 G01N23/2251 G01N23/2273

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

黄涛;吕传奇

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

显微镜的带电粒子检测器 [P].

I·范韦佩伦 .

:CN120019466A ,2025-05-16

[2]

带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法 [P].

千野肇 ;

绵引胜 ;

岩谷彻 .

中国专利 :CN102668014A ,2012-09-12

[3]

带电粒子检测器 [P].

须山本比吕 ;

小林浩之 ;

服部真也 .

中国专利 :CN107710380B ,2018-02-16

[4]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 .

:CN117597762A ,2024-02-23

[5]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 ;

E·斯洛特 .

:CN117597761A ,2024-02-23

[6]

具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜 [P].

P.波托塞克 ;

F.M.H.M.范拉亚霍文 ;

F.博霍贝 ;

R.肖恩马克斯 ;

P.C.蒂伊梅杰 .

中国专利 :CN105529235A ,2016-04-27

[7]

带电粒子检测器 [P].

E.克尼德勒 ;

J.H.奥尔洛夫 .

中国专利 :CN103038856B ,2013-04-10

[8]

透射带电粒子显微镜的成像技术 [P].

B.J.詹森 ;

L.余 ;

E.M.弗兰肯 .

中国专利 :CN110082370A ,2019-08-02

[9]

校准扫描透射带电粒子显微镜的方法 [P].

M.T.奥特坦 ;

A.A.M.科克 ;

M.维海詹 .

中国专利 :CN105261544A ,2016-01-20

[10]

带电粒子束显微镜、带电粒子束显微镜用样品支座以及带电粒子束显微方法 [P].

常田瑠璃子 ;

菊池秀树 ;

鹿岛秀夫 .

中国专利 :CN104067369B ,2014-09-24

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	公开	公开