具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510677465.5

申请日：

2015-10-16

公开(公告)号：

CN105529235A

公开(公告)日：

2016-04-27

发明(设计)人：

P.波托塞克 F.M.H.M.范拉亚霍文 F.博霍贝 R.肖恩马克斯 P.C.蒂伊梅杰

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J3726

IPC分类号：

H01J37147

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

周学斌;陈岚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702103240 IPC(主分类):H01J 37/26 专利申请号:2015106774655 申请日:20151016
2018-11-02	授权	授权
2016-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜 [P].

E·弗兰肯 ;

T·瓦斯洛特 ;

B·詹森 .

美国专利 :CN120809561A ,2025-10-17

[2]

带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法 [P].

千野肇 ;

绵引胜 ;

岩谷彻 .

中国专利 :CN102668014A ,2012-09-12

[3]

具有气压修正的带电粒子显微镜 [P].

M.H.P.莫尔斯 ;

A.维斯彻尔 .

中国专利 :CN105590822A ,2016-05-18

[4]

提供深度分辨图像的带电粒子显微镜 [P].

F.布格霍贝尔 ;

P.波托塞克 ;

C.S.库伊曼 ;

B.H.利希 .

中国专利 :CN102931044B ,2013-02-13

[5]

提供深度分辨图像的带电粒子显微镜 [P].

F.布格霍贝尔 ;

E.G.T.博施 ;

P.波托塞克 ;

X.朱格 ;

B.H.利希 .

中国专利 :CN103367085B ,2013-10-23

[6]

带电粒子显微镜中的复合扫描路径 [P].

P.波托塞克 ;

C.S.库吉曼 ;

H-J.德沃斯 ;

H.N.斯林格兰德 .

中国专利 :CN105551921A ,2016-05-04

[7]

具有原位沉积功能的带电粒子显微镜 [P].

J.米特彻斯 ;

R.沙姆佩斯 ;

M.赫劳泽克 ;

T.加德卡 .

中国专利 :CN107437489A ,2017-12-05

[8]

带电粒子显微镜中的图像处理 [P].

B.J.詹斯森 ;

A.范德海德 ;

H.罗伊文 ;

S.托马斯森 .

中国专利 :CN108878239A8 ,2018-11-23

[9]

显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法 [P].

S·比恩 ;

R·罗兰 ;

S·希斯 .

中国专利 :CN102543638B ,2012-07-04

[10]

使用带电粒子显微镜检查样品的方法 [P].

T.图玛 ;

J.赫拉迪尔 ;

P.赫拉文卡 .

中国专利 :CN110849926A ,2020-02-28

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