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检测带电粒子的检测装置、检测带电粒子的方法以及质谱仪
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201080049069.3
申请日
:
2010-10-18
公开(公告)号
:
CN102668017B
公开(公告)日
:
2012-09-12
发明(设计)人
:
A·马卡洛夫
A·詹纳考普洛斯
申请人
:
申请人地址
:
德国不来梅
IPC主分类号
:
H01J4902
IPC分类号
:
代理机构
:
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
:
侯颖媖
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2015-02-11
授权
授权
2012-09-12
公开
公开
2012-11-07
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101343152879 IPC(主分类):H01J 49/02 专利申请号:2010800490693 申请日:20101018
共 50 条
[1]
检测带电粒子的检测装置、检测带电粒子的方法以及质谱仪
[P].
A·马卡洛夫
论文数:
0
引用数:
0
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0
A·马卡洛夫
;
A·詹纳考普洛斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
A·詹纳考普洛斯
.
中国专利
:CN102782800B
,2012-11-14
[2]
带电粒子检测装置
[P].
汪苏
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0
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0
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0
汪苏
;
张旭
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0
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0
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0
张旭
;
陈仲玮
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0
引用数:
0
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0
陈仲玮
.
中国专利
:CN101929965A
,2010-12-29
[3]
带电粒子检测器
[P].
须山本比吕
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0
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0
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0
须山本比吕
;
小林浩之
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0
小林浩之
;
服部真也
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0
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0
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0
服部真也
.
中国专利
:CN107710380B
,2018-02-16
[4]
带电粒子检测器
[P].
A·V·G·曼格努斯
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0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·V·G·曼格努斯
.
:CN117597762A
,2024-02-23
[5]
具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜
[P].
E·弗兰肯
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0
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0
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机构:
FEI公司
FEI公司
E·弗兰肯
;
T·瓦斯洛特
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机构:
FEI公司
FEI公司
T·瓦斯洛特
;
B·詹森
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0
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机构:
FEI公司
FEI公司
B·詹森
.
美国专利
:CN120809561A
,2025-10-17
[6]
带电粒子检测器
[P].
A·V·G·曼格努斯
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0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·V·G·曼格努斯
;
E·斯洛特
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0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
E·斯洛特
.
:CN117597761A
,2024-02-23
[7]
复合带电粒子束检测器、带电粒子束装置以及带电粒子束检测器
[P].
野间口恒典
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0
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野间口恒典
;
扬村寿英
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0
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0
扬村寿英
.
中国专利
:CN104956461A
,2015-09-30
[8]
带电粒子检测器
[P].
E.克尼德勒
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E.克尼德勒
;
J.H.奥尔洛夫
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0
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J.H.奥尔洛夫
.
中国专利
:CN103038856B
,2013-04-10
[9]
改进的带电粒子检测器
[P].
W.谢尔斯
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0
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W.谢尔斯
;
R.斯特雷索
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0
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0
R.斯特雷索
;
K.宏特
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0
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0
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0
K.宏特
.
中国专利
:CN110832615A
,2020-02-21
[10]
制造带电粒子检测器的方法
[P].
B·J·詹森
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0
B·J·詹森
;
P·多纳
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0
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0
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0
P·多纳
.
中国专利
:CN112242284A
,2021-01-19
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