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蒸镀坩埚和蒸镀系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621460504.2
申请日：
2016-12-28
公开(公告)号：
CN206289297U
公开(公告)日：
2017-06-30
发明(设计)人：
何瑞亭
李晓康
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
姜春咸;陈源
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-06-30 | 授权 | 授权 |