蒸镀坩埚、蒸镀设备以及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010440858.5

申请日：

2020-05-22

公开(公告)号：

CN111471967A

公开(公告)日：

2020-07-31

发明(设计)人：

匡友元

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412 H01L5156

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

刁文魁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-31	公开	公开
2020-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20200522

共 50 条

[1]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源以及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108866485B ,2018-11-23

[2]

蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚 [P].

朱金华 .

中国专利 :CN208562504U ,2019-03-01

[3]

蒸镀坩埚和蒸镀系统 [P].

何瑞亭 ;

李晓康 .

中国专利 :CN106756805B ,2017-05-31

[4]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN214881795U ,2021-11-26

[5]

蒸镀坩埚和蒸镀系统 [P].

何瑞亭 ;

李晓康 .

中国专利 :CN206289297U ,2017-06-30

[6]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN114752896A ,2022-07-15

[7]

蒸镀坩埚 [P].

徐天宇 ;

黄秦霏 ;

肖昂 ;

刘洋 ;

郭雄飞 ;

徐豹 ;

朱伍权 ;

付佳佳 ;

孟德芬 ;

易平安 ;

赵希瑾 ;

贾克飞 .

中国专利 :CN112359324A ,2021-02-12

[8]

蒸镀设备及蒸镀工艺 [P].

梁作 ;

马昆松 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN117512522A ,2024-02-06

[9]

蒸镀设备及蒸镀工艺 [P].

梁作 ;

马昆松 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN117512522B ,2025-10-28

[10]

一种蒸镀坩埚和蒸镀设备 [P].

申少雄 .

中国专利 :CN207243985U ,2018-04-17

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