一种高耐热化学增幅型光刻胶树脂及其光刻胶组合物

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专利类型
发明
申请号
CN201510014205.X
申请日
2015-01-08
公开(公告)号
CN104614941A
公开(公告)日
2015-05-13
发明(设计)人
黄巍
申请人
申请人地址
215124 江苏省苏州市吴中区民丰路501号
IPC主分类号
G03F7038
IPC分类号
G03F7004
代理机构
代理人
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
化学增幅型正型光刻胶组合物及其用途 [P]. 
梁思伟 ;
黄新义 ;
周乃天 ;
陈怡静 .
中国专利 :CN119717395A ,2025-03-28
[2]
光刻胶组合物 [P]. 
J·F·卡梅伦 ;
S·J·姜 ;
J·W·成 .
中国专利 :CN103076720A ,2013-05-01
[3]
光刻胶组合物 [P]. 
J·F·卡梅伦 ;
S·J·姜 ;
J·W·成 .
中国专利 :CN1837957A ,2006-09-27
[4]
一种化学增幅型光刻胶及其制备方法 [P]. 
杨金梁 .
中国专利 :CN120652745A ,2025-09-16
[5]
光刻胶组合物 [P]. 
J·F·卡梅伦 ;
D·W·李 ;
P·特雷夫纳斯 ;
G·J·斯万森 ;
J.W.宋 .
中国专利 :CN1821869A ,2006-08-23
[6]
光刻胶组合物 [P]. 
釜渊明 ;
山下裕子 .
中国专利 :CN102023479A ,2011-04-20
[7]
光刻胶组合物 [P]. 
山口训史 ;
金淳信 ;
吉田勋 ;
市川幸司 .
中国专利 :CN102033426A ,2011-04-27
[8]
光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法 [P]. 
李永斌 ;
何龙龙 .
中国专利 :CN112679653B ,2021-04-20
[9]
光刻胶组合物 [P]. 
市川幸司 ;
坂本宏 ;
杉原昌子 ;
平冈崇志 .
中国专利 :CN102023482A ,2011-04-20
[10]
一种光刻胶组合物及光刻胶 [P]. 
赵明 ;
张晶晶 ;
刘瑶 ;
李琳 ;
胡登峰 .
中国专利 :CN114415469A ,2022-04-29