化学增幅型正型光刻胶组合物及其用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410393277.9

申请日：

2024-04-02

公开(公告)号：

CN119717395A

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

梁思伟黄新义周乃天陈怡静

申请人：

台湾永光化学工业股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台北市敦化南路2段77号6楼

IPC主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

樊晓

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

四川省自贡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/039申请日:20240402
2025-03-28	公开	公开

共 50 条

[1]

图案轮廓改善用化学增幅型正性光刻胶组合物 [P].

李秀珍 ;

崔映喆 ;

李昇勋 ;

李昇炫 .

韩国专利 :CN112313580B ,2024-11-22

[2]

图案轮廓改善用化学增幅型正性光刻胶组合物 [P].

李秀珍 ;

崔映喆 ;

李昇勋 ;

李昇炫 .

中国专利 :CN112313580A ,2021-02-02

[3]

化学增幅型正型光阻组合物 [P].

李兴杰 ;

林钰婷 ;

黄新义 .

中国专利 :CN110133965A ,2019-08-16

[4]

聚酰亚胺正型光刻胶组合物 [P].

林诣婕 ;

蔡芸慈 ;

林伯南 ;

叶子瑭 ;

周乃天 ;

黄新义 ;

林昭文 .

中国专利 :CN112859523A ,2021-05-28

[5]

聚酰亚胺正型光刻胶组合物 [P].

林诣婕 ;

蔡芸慈 ;

林伯南 ;

叶子瑭 ;

周乃天 ;

黄新义 ;

林昭文 .

中国专利 :CN112859523B ,2024-04-26

[6]

化学放大型正型光刻胶组合物 [P].

新堀博 .

中国专利 :CN100549829C ,2006-04-12

[7]

一种化学增幅型光刻胶及其制备方法 [P].

杨金梁 .

中国专利 :CN120652745A ,2025-09-16

[8]

一种高耐热化学增幅型光刻胶树脂及其光刻胶组合物 [P].

黄巍 .

中国专利 :CN104614941A ,2015-05-13

[9]

正型光刻胶组合物、制备正型光刻胶的方法和玻璃件 [P].

卢泽宇 .

中国专利 :CN113835297A ,2021-12-24

[10]

正型光刻胶组合物、制备正型光刻胶的方法和玻璃件 [P].

卢泽宇 .

中国专利 :CN113835297B ,2024-05-28

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