一种TFT减薄蚀刻前上料防呆装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921101747.0
申请日
2019-07-15
公开(公告)号
CN210443536U
公开(公告)日
2020-05-01
发明(设计)人
陈江平
申请人
申请人地址
435000 湖北省黄石市经济技术开发区金山大道东388号华创科技园
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
代理机构
上海精晟知识产权代理有限公司 31253
代理人
安曼
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[4]
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[5]
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[6]
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[8]
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[9]
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[10]
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