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一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821845991.3
申请日：
2018-11-09
公开(公告)号：
CN209028362U
公开(公告)日：
2019-06-25
发明(设计)人：
唐朝晖
张敬冬
申请人：
申请人地址：
435000 湖北省黄石市经济技术开发区金山大道东388号华创科技园
IPC主分类号：
G02F113
IPC分类号：
代理机构：
上海精晟知识产权代理有限公司 31253
代理人：
冯子玲
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-25 | 授权 | 授权 |