一种硫系多元合金靶材及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910526761.3

申请日：

2019-06-18

公开(公告)号：

CN110396665A

公开(公告)日：

2019-11-01

发明(设计)人：

何金江石红春万小勇刘晓华张晓娜毛永军闫缓李勇军

申请人：

申请人地址：

100088 北京市海淀区北三环中路43号院有研新材料股份有限公司

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435 C23C1414 C22C3000

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

陈波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-01	公开	公开
2019-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190618

共 50 条

[1]

一种多元合金靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张欠男 ;

高众 .

中国专利 :CN114000113A ,2022-02-01

[2]

一种高纯硫系相变合金靶材及其制备方法 [P].

沈祥 ;

王国祥 ;

聂秋华 ;

徐铁峰 ;

戴世勋 ;

陈芬 ;

张巍 ;

付晶 .

中国专利 :CN102637822B ,2012-08-15

[3]

铝合金靶材及其制造方法 [P].

中村亮太 ;

永田智啓 ;

赤松泰彦 ;

小林大士 ;

氏原祐辅 ;

中台保夫 ;

新田纯一 .

中国专利 :CN112204165A ,2021-01-08

[4]

一种多元合金靶材和多元合金薄膜吸气剂及其制备方法 [P].

鲁涛 .

中国专利 :CN117431511B ,2024-09-24

[5]

一种多元合金靶材和多元合金薄膜吸气剂及其制备方法 [P].

鲁涛 .

中国专利 :CN117431511A ,2024-01-23

[6]

铝系合金靶材的制造方法及用该方法得到的铝系合金靶材 [P].

久保田高史 ;

渡边弘 ;

松前和男 ;

加藤和照 .

中国专利 :CN1179061C ,2002-12-25

[7]

一种锰合金靶材及其制造方法 [P].

范亮 ;

王欣平 ;

陈明 ;

江轩 ;

熊晓东 .

中国专利 :CN102877033A ,2013-01-16

[8]

一种高纯硫系相变合金靶材的焊接方法 [P].

张晓娜 ;

万小勇 ;

张巧霞 ;

宋艳青 ;

何金江 ;

丁照崇 ;

李勇军 ;

陈明 .

中国专利 :CN110394538A ,2019-11-01

[9]

一种钛硅合金靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

李建奎 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

缪磊 ;

张学华 ;

岳万祥 .

中国专利 :CN111136265B ,2020-05-12

[10]

一种Al-Sc-X多元合金靶材及其制备方法 [P].

余琨 .

中国专利 :CN110714142A ,2020-01-21

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