铝系合金靶材的制造方法及用该方法得到的铝系合金靶材

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN02118135.7
申请日
2002-04-19
公开(公告)号
CN1179061C
公开(公告)日
2002-12-25
发明(设计)人
久保田高史 渡边弘 松前和男 加藤和照
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
C22C2100
IPC分类号
C23C1434 C23C1414
代理机构
上海专利商标事务所
代理人
陈剑华
法律状态
专利权的终止
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种合金靶材的制备方法及用该方法制得的合金靶材 [P]. 
廖龙辉 ;
罗文富 ;
陈发海 ;
罗承钦 ;
叶名飞 .
中国专利 :CN111826625B ,2020-10-27
[2]
靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材 [P]. 
大岩一彦 ;
姚科科 ;
广田二郎 ;
林智行 ;
山田浩 .
中国专利 :CN113373350B ,2021-09-10
[3]
氧含量低的Cu-Ga系合金粉末、Cu-Ga系合金靶材、以及靶材的制造方法 [P]. 
泽田俊之 .
中国专利 :CN103421976A ,2013-12-04
[4]
铁靶材、铁镍合金靶材以及靶材的晶粒细化方法 [P]. 
余飞 ;
邵郑伟 ;
黄宇彬 ;
童培云 ;
朱刘 .
中国专利 :CN114657345A ,2022-06-24
[5]
铁靶材、铁镍合金靶材以及靶材的晶粒细化方法 [P]. 
余飞 ;
邵郑伟 ;
黄宇彬 ;
童培云 ;
朱刘 .
中国专利 :CN114657345B ,2024-04-09
[6]
一种铝钪合金靶材的制造方法 [P]. 
丁照崇 ;
李勇军 ;
贾倩 ;
曹晓萌 ;
庞欣 ;
滕海涛 ;
关静 ;
曲鹏 ;
李利利 ;
杜文路 .
中国专利 :CN112708864B ,2021-04-27
[7]
溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法 [P]. 
黄岩 ;
李云 ;
史大成 .
中国专利 :CN114959595B ,2024-03-29
[8]
铝钪合金靶材及其制备方法、应用 [P]. 
陈卫平 ;
申庆飞 ;
聂东红 .
中国专利 :CN116117139B ,2024-11-22
[9]
铬铝硅合金靶材及其制备方法 [P]. 
张凤戈 ;
唐培新 ;
姚伟 ;
张路长 ;
姜海 ;
赵雷 ;
高明 .
中国专利 :CN104419859A ,2015-03-18
[10]
钛铝铬合金靶材及其制备方法 [P]. 
王铁军 ;
唐培新 ;
张路长 ;
孙继洲 ;
郝权 ;
赵雷 ;
何向晖 .
中国专利 :CN104419847A ,2015-03-18