一种铝钪合金靶材的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN202011535127.5
申请日
2020-12-23
公开(公告)号
CN112708864B
公开(公告)日
2021-04-27
发明(设计)人
丁照崇 李勇军 贾倩 曹晓萌 庞欣 滕海涛 关静 曲鹏 李利利 杜文路
申请人
申请人地址
102200 北京市昌平区超前路33号
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C22C103 C22C2100 C22C2800
代理机构
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人
张文宝
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法 [P]. 
丁昭崇 ;
王兴权 ;
张晓娜 ;
何金江 ;
李勇军 ;
雷继锋 ;
庞欣 ;
贺昕 .
中国专利 :CN109161858A ,2019-01-08
[2]
高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法 [P]. 
王兴权 ;
曹晓萌 ;
丁照崇 ;
李勇军 ;
贾倩 ;
李利利 ;
何金江 ;
张晓娜 ;
杜文路 ;
肖彤 .
中国专利 :CN113981386B ,2024-01-05
[3]
高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法 [P]. 
王兴权 ;
曹晓萌 ;
丁照崇 ;
李勇军 ;
贾倩 ;
李利利 ;
何金江 ;
张晓娜 ;
杜文路 ;
肖彤 .
中国专利 :CN113981386A ,2022-01-28
[4]
一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法和应用 [P]. 
张科 ;
陈钦忠 ;
蔡小勇 ;
池铭浩 ;
吴荣祯 .
中国专利 :CN110093588A ,2019-08-06
[5]
一种铝钪合金靶材的制备方法 [P]. 
童培云 ;
蔡新志 ;
朱刘 ;
赵佳 ;
白向钰 ;
谢小林 ;
郑双明 .
中国专利 :CN111647858B ,2020-09-11
[6]
铝钪合金靶材及其制备方法 [P]. 
黄培 ;
黄美松 ;
王志坚 ;
刘华 ;
邓月华 ;
马小波 ;
文康 ;
刘维 .
中国专利 :CN111455223A ,2020-07-28
[7]
铝钪合金靶材制备方法 [P]. 
余鹏 ;
宋觉敏 .
中国专利 :CN108441827A ,2018-08-24
[8]
高钪铝钪合金靶及其靶材绑定方法 [P]. 
陈力学 .
中国专利 :CN112063977A ,2020-12-11
[9]
铝钪合金靶材的制备方法 [P]. 
周贤界 ;
黄勇彪 .
中国专利 :CN112548069B ,2021-03-26
[10]
铝钪合金靶材及其制备方法、应用 [P]. 
陈卫平 ;
申庆飞 ;
聂东红 .
中国专利 :CN116117139B ,2024-11-22