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一种带材真空等离子体镀膜方法及装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110408149.3
申请日：
2021-04-15
公开(公告)号：
CN113201722A
公开(公告)日：
2021-08-03
发明(设计)人：
杜顺锋
申请人：
申请人地址：
528200 广东省佛山市南海区狮山镇塘头上旺村罗穆公路中段
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
C23C1432
代理机构：
佛山市永裕信专利代理有限公司 44206
代理人：
杨启成
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20210415 |