硅片真空吸附装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920154409.3

申请日：

2009-05-12

公开(公告)号：

CN201488516U

公开(公告)日：

2010-05-26

发明(设计)人：

耿彪

申请人：

申请人地址：

101101 北京市通州区永顺镇潞邑西路2号院4号楼412室

IPC主分类号：

F26B2500

IPC分类号：

F16B4700

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

黄家俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-26	授权	授权
2019-04-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F26B 25/00 申请日:20090512 授权公告日:20100526 终止日期:20180512

共 50 条

[1]

真空吸附装置 [P].

韩振忠 .

中国专利 :CN201267966Y ,2009-07-08

[2]

真空吸附装置 [P].

杜凯 .

中国专利 :CN201115959Y ,2008-09-17

[3]

真空吸附装置 [P].

王全林 ;

刘付文权 ;

张思权 ;

彭威 ;

畅文欣 .

中国专利 :CN208348270U ,2019-01-08

[4]

真空吸附装置 [P].

侯建廷 ;

罗永民 .

中国专利 :CN215100610U ,2021-12-10

[5]

真空吸附方法以及真空吸附装置 [P].

高松生芳 ;

谷垣内平道 .

中国专利 :CN110014385A ,2019-07-16

[6]

一种改良硅片真空吸附装置 [P].

李文明 ;

罗泽胤 .

中国专利 :CN222609163U ,2025-03-14

[7]

真空吸附控制阀及真空吸附装置 [P].

邓彪 ;

陈杰军 .

中国专利 :CN211501659U ,2020-09-15

[8]

真空吸附控制阀及真空吸附装置 [P].

邓彪 ;

陈杰军 .

中国专利 :CN211550573U ,2020-09-22

[9]

真空吸附装置 [P].

白胜胜 ;

张鹏 ;

吕建彬 ;

李超 .

中国专利 :CN209298279U ,2019-08-23

[10]

真空吸附装置 [P].

魏安坤 .

中国专利 :CN216758026U ,2022-06-17

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