一种曝光均匀度好的曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520199780.7

申请日：

2015-04-06

公开(公告)号：

CN204515343U

公开(公告)日：

2015-07-29

发明(设计)人：

陈志林

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井街道万丰大郎山西路25号一楼中

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

广东国晖律师事务所 44266

代理人：

谭宗成

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20150406 授权公告日:20150729 终止日期:20170406
2015-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种均匀度高的曝光机 [P].

周华隆 ;

唐庭敏 .

中国专利 :CN209055802U ,2019-07-02

[2]

一种高均匀度曝光机光路系统 [P].

孙秀辉 ;

杨若夫 ;

蔡文涛 .

中国专利 :CN205485280U ,2016-08-17

[3]

高均匀度的紫外LED曝光头 [P].

尹韶云 ;

孙秀辉 ;

董燕 ;

周维超 ;

吴鹏 ;

蔡文涛 ;

谭艾英 ;

杜春雷 .

中国专利 :CN204129435U ,2015-01-28

[4]

一种曝光机的曝光机构 [P].

李治德 ;

刘飞豹 .

中国专利 :CN222420810U ,2025-01-28

[5]

一种曝光均匀的亚克力玻璃用曝光机 [P].

杨斯翔 .

中国专利 :CN206450968U ,2017-08-29

[6]

测量曝光机台焦平面均匀度的方法 [P].

吴永君 .

中国专利 :CN101650534B ,2010-02-17

[7]

一种曝光质量好的曝光装置 [P].

莫军 ;

李德东 .

中国专利 :CN205247060U ,2016-05-18

[8]

均匀光强曝光机 [P].

马建立 .

中国专利 :CN214375817U ,2021-10-08

[9]

一种均匀布光的曝光机 [P].

王满根 .

中国专利 :CN203941382U ,2014-11-12

[10]

一种曝光机真空曝光室 [P].

杨中 .

中国专利 :CN212229414U ,2020-12-25

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