一种曝光质量好的曝光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201521095867.6

申请日：

2015-12-25

公开(公告)号：

CN205247060U

公开(公告)日：

2016-05-18

发明(设计)人：

莫军李德东

申请人：

申请人地址：

629000 四川省遂宁市创新工业园区机场南路北侧渠河路东侧

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218

代理人：

袁英

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20151225 授权公告日:20160518 终止日期:20191225
2016-05-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种曝光机用的曝光装置 [P].

付菊玲 .

中国专利 :CN207037326U ,2018-02-23

[2]

一种曝光装置及其曝光方法 [P].

马海涛 ;

赵海生 .

中国专利 :CN103324037A ,2013-09-25

[3]

一种曝光均匀度好的曝光机 [P].

陈志林 .

中国专利 :CN204515343U ,2015-07-29

[4]

一种曝光机的曝光平台 [P].

叶祖峰 .

中国专利 :CN205862100U ,2017-01-04

[5]

曝光机的真空曝光装置 [P].

朱显超 .

中国专利 :CN207780482U ,2018-08-28

[6]

一种钢片曝光装置 [P].

郭满锋 .

中国专利 :CN212892384U ,2021-04-06

[7]

一种连续曝光装置 [P].

闵庆楠 ;

白承铁 ;

朴允俓 ;

朴玟俓 ;

杨鸿麟 .

中国专利 :CN207337073U ,2018-05-08

[8]

曝光组件及曝光装置 [P].

汤朝元 ;

宁鹏飞 ;

王晓鹏 .

中国专利 :CN209311854U ,2019-08-27

[9]

一种用于FPC板曝光机的曝光装置 [P].

杨旭 ;

陈锐 .

中国专利 :CN207636927U ,2018-07-20

[10]

一种用于曝光手机玻璃边侧的曝光装置及其曝光方法 [P].

刘澎波 ;

李铁骑 ;

喻名许 .

中国专利 :CN114995066A ,2022-09-02

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