曝光机的真空曝光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721808089.X

申请日：

2017-12-21

公开(公告)号：

CN207780482U

公开(公告)日：

2018-08-28

发明(设计)人：

朱显超

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉带西路99号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239

代理人：

丁秀华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171221 授权公告日:20180828 终止日期:20191221
2018-08-28	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光机的真空曝光装置 [P].

朱显超 .

中国专利 :CN107908080A ,2018-04-13

[2]

紫外曝光机的曝光装置以及紫外曝光机 [P].

邢大为 .

中国专利 :CN216901328U ,2022-07-05

[3]

一种曝光机真空曝光室 [P].

杨中 .

中国专利 :CN212229414U ,2020-12-25

[4]

曝光机的曝光平台 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN203858451U ,2014-10-01

[5]

朱庆中 .

中国专利 :CN201903755U ,2011-07-20

[6]

曝光机的真空置台 [P].

邓毅鹏 .

中国专利 :CN209215865U ,2019-08-06

[7]

一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机 [P].

谭艾英 ;

杨若夫 ;

孙秀辉 ;

尹韶云 ;

蔡文涛 ;

陈建军 .

中国专利 :CN207337074U ,2018-05-08

[8]

一种曝光机用的曝光装置 [P].

付菊玲 .

中国专利 :CN207037326U ,2018-02-23

[9]

曝光机的曝光平台 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN105093839A ,2015-11-25

[10]

项宗齐 ;

汪涛 ;

刘国藩 .

中国专利 :CN220795641U ,2024-04-16

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