一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520509069.7

申请日：

2015-07-15

公开(公告)号：

CN204874723U

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

郭庆李险峰臧晓良黄琨凌晨

申请人：

申请人地址：

215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区长江路189号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司 32103

代理人：

马明渡;徐丹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	授权	授权
2022-06-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20150715 授权公告日:20151216 终止日期:20210715

共 50 条

[1]

一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置 [P].

郭庆 ;

李险峰 ;

臧晓良 ;

黄琨 ;

凌晨 .

中国专利 :CN204849012U ,2015-12-09

[2]

真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统 [P].

王洪权 ;

刘晓华 ;

张朝奎 .

中国专利 :CN204369969U ,2015-06-03

[3]

真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统 [P].

王洪权 ;

刘晓华 ;

张朝奎 .

中国专利 :CN104404449A ,2015-03-11

[4]

一种真空镀膜设备真空腔室结构 [P].

葛晓林 ;

冯庆 ;

苗东 ;

刘子安 .

中国专利 :CN218175094U ,2022-12-30

[5]

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

屠友明 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203413136U ,2014-01-29

[6]

真空镀膜室 [P].

郭书周 .

中国专利 :CN206015078U ,2017-03-15

[7]

真空腔室结构及真空镀膜设备 [P].

朱昆 ;

颜学庆 ;

曹健辉 ;

刘玮 ;

陈惠君 .

中国专利 :CN217297997U ,2022-08-26

[8]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[9]

一种真空镀膜冷却装置 [P].

王乃用 ;

刘俊林 ;

李伟 ;

苏衍宪 ;

孟国强 ;

李常兴 ;

邢寻勇 ;

钱亚杰 ;

韩珅 ;

田利 .

中国专利 :CN205329149U ,2016-06-22

[10]

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

屠友明 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN103470789B ,2013-12-25

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