检测设备及其检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610160490.0

申请日：

2016-03-21

公开(公告)号：

CN106558513B

公开(公告)日：

2017-04-05

发明(设计)人：

廖茂发梁文钦

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167 G01N2188

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟;王锦阳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-30	授权	授权
2017-04-05	公开	公开
2017-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101716974644 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2016101604900 申请日:20160321

共 50 条

[1]

检测设备及其检测方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

魏林鹏 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114695154A ,2022-07-01

[2]

检测设备及其检测方法 [P].

陈鲁 ;

王南朔 ;

马砚忠 ;

张朝前 ;

卢继奎 .

中国专利 :CN112082602A ,2020-12-15

[3]

检测设备及其检测方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

魏林鹏 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114695154B ,2025-12-09

[4]

检测设备及其检测方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

魏林鹏 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114688972B ,2024-04-02

[5]

检测设备及其检测方法 [P].

杨帆 .

中国专利 :CN110208609B ,2019-09-06

[6]

检测设备及其检测方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

魏林鹏 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114688973A ,2022-07-01

[7]

检测设备及其检测方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

张军 ;

林飞 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112929569A ,2021-06-08

[8]

检测设备及其检测方法 [P].

韩仲恺 ;

黄渝珊 ;

古伯泉 ;

蔡俊彦 .

中国专利 :CN111667783A ,2020-09-15

[9]

检测设备及其检测方法 [P].

曹国会 ;

沈照淋 ;

郭骏 ;

张培 ;

孙斯亮 .

中国专利 :CN118393130A ,2024-07-26

[10]

检测设备及其检测方法 [P].

曹国会 ;

沈照淋 ;

郭骏 ;

张培 ;

孙斯亮 .

中国专利 :CN118393130B ,2024-11-08

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